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申请/专利权人：江苏京创先进电子科技有限公司
摘要：本实用新型揭示了工件固定旋转台及半导体器件加工设备，其中工件固定旋转台，包括旋转机构以及由所述旋转机构驱动自转的承片台，所述承片台上方还间隙设置有用于检测其是否水平的第一检测机构，所述旋转机构设置于调平板上，所述调平板的底部连接有至少三个呈多边形分布的调平驱动器，所述调平驱动器设置在所述调平板下方的溜板上。本实用新型是将承片台设置在旋转机构上，可以在需要使使承片台自转，同时设置第一检测机构来检测承片台的水平状态，在检测到承片台倾斜时，可以通过调平驱动器实现承片台的调平，能够在加工过程中实现承片台的状态检测及自动调整，无需人工干预。
主权项：1.工件固定旋转台，其特征在于：包括旋转机构以及由所述旋转机构驱动自转的承片台，所述承片台上方还间隙设置有用于检测其是否水平的第一检测机构，所述旋转机构设置于调平板上，所述调平板的底部连接有三个呈多边形分布的调平驱动器，所述调平驱动器设置在所述调平板下方的溜板上；所述溜板上设置有用于检测所述调平板是否倾斜的第二检测机构；所述第二检测机构包括三个第二测距传感器，所述调平板保持水平时，三个所述第二测距传感器在所述调平板上的检测点与三个所述调平驱动器的伸缩轴一一对应。
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百度查询： 江苏京创先进电子科技有限公司 工件固定旋转台及半导体器件加工设备
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