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申请/专利权人:浜松光子学株式会社
摘要:半导体发光元件1具备半导体层叠20、电极16以及电极17。半导体层叠20包含活性层12及相位调制层15。相位调制层15具有多个相位调制区域151。各相位调制区域151包含具有第一折射率的基本区域15a和具有与第一折射率不同的第二折射率且呈二维状分布的多个不同折射率区域15b。电极16包含从半导体层叠20的层叠方向观察与多个相位调制区域151分别重叠的多个电极部分161。多个电极部分161相互电分离。在多个相位调制区域151的各个中谐振的激光L成为与多个不同折射率区域15b的配置对应的光像而向共同的照射区域照射。从多个相位调制区域151分别输出的光像相互相位同步。
主权项:1.一种半导体发光元件,其中,具备:半导体层叠,其具有在第一面和第二面之间包含活性层及相位调制层的层叠结构,所述相位调制层具有沿着与所述相位调制层的厚度方向垂直的假想平面排列并相互光耦合的多个相位调制区域,所述多个相位调制区域分别包含具有第一折射率的基本区域和设置于所述基本区域内并且具有与所述第一折射率不同的第二折射率且沿着所述假想平面呈二维状分布的多个不同折射率区域;第一电极,其与所述半导体层叠的所述第一面相对;以及第二电极,其与所述半导体层叠的所述第二面相对,所述第一电极及所述第二电极的一方或双方包含从所述半导体层叠的层叠方向观察与所述多个相位调制区域分别重叠的多个电极部分,所述多个电极部分相互电分离,从所述活性层输出的光,在所述相位调制层的所述多个相位调制区域的各个中沿着所述假想平面谐振,从所述多个相位调制区域分别向位于与所述半导体层叠的所述第一面及所述第二面的双方交叉的方向的共同的照射区域,成为与所述多个不同折射率区域的配置对应的光像而照射,从所述多个相位调制区域分别输出的所述光像相互相位同步。
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