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申请/专利权人：常熟理工学院;苏州吉天星舟空间技术有限公司
摘要：本发明涉及图像去噪技术领域，具体涉及一种精密光学元件表面颗粒物在线检测方法。首先，依据元件的功能区域对灰度图像进行划分，得到多个图像块。通过分析像素点的灰度分布特征，确定疑似颗粒物区域。接着，结合图像块中颗粒物区域的位置分布、面积大小及其在灰度图像中的位置，确定静电吸附反常量，反映图像块的噪声影响程度。同时，根据颗粒物区域的分布聚集情况，确定噪声影响值。最终，综合考虑静电吸附反常量与噪声影响值，对各个图像块进行针对性的去噪处理，得到去噪图像，最后在去噪图像中进行颗粒物的检测。这种方法有效去除了噪声干扰，提高了颗粒物检测的准确性。
主权项：1.一种精密光学元件表面颗粒物在线检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取待测光学元件工作时表面的灰度图像，将所述灰度图像划分为多个图像块；根据所述灰度图像中像素点的灰度分布特征，确定疑似颗粒物区域；分析图像块中疑似颗粒物区域的位置分布特征、疑似颗粒物区域的面积以及图像块在灰度图像中的位置，确定每个图像块的静电吸附反常量；基于图像块中疑似颗粒物区域的聚集情况，确定每个图像块对应的噪声影响值；根据所有图像块的静电吸附反常量以及噪声影响值，对所述灰度图像进行去噪，得到去噪图像；对所述去噪图像进行颗粒物检测。
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权利要求：
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