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申请/专利权人：成都高真科技有限公司
摘要：本发明公开一种温湿度控制装置及方法，涉及半导体器件生产设备的温湿度控制技术领域，以克服现有技术中存在的涂胶显影设备无法正常使用，导致生产效率降低，成本增大的技术问题。温湿度控制装置包括控制器、至少两个热电元件和至少两个水蒸气传感器。水蒸气传感器用于监测热电元件的空气管线，以获取空气管线周围空气中水蒸气的含量。控制器与水蒸气传感器和热电元件均电连接，控制器控制与该水蒸气传感器相对应的热电元件的启停。温湿度控制方法包括对处于工作状态的第一热电元件的空气管线周围空气中的水蒸气含量进行监测；当水蒸气含量超过预设范围时，关闭第一热电元件，同时启动第二热电元件。
主权项：1.一种温湿度控制装置，其特征在于，包括：至少两个热电元件，所述热电元件用于调整并控制外部设备的温湿度；至少两个水蒸气传感器，一个所述热电元件至少对应一个所述水蒸气传感器；所述水蒸气传感器用于监测所述热电元件的空气管线，以获取所述空气管线周围空气中水蒸气的含量；控制器，与所述水蒸气传感器和所述热电元件均电连接，所述控制器用于接收所述水蒸气传感器所监测到的所述空气管线周围空气中水蒸气的含量信号，所述控制器根据所述水蒸气的含量信号控制与该所述水蒸气传感器相对应的所述热电元件的启停。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都高真科技有限公司 一种温湿度控制装置及方法
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