龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：中环领先(徐州)半导体材料有限公司;中环领先半导体科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种晶体生长的控制方法和晶体生长设备，所述晶体生长的控制方法包括：包括：S1，向炉体内通入温度为预设温度的氩气；S2，获取晶体在生长界面位置的界面尺寸参数；S3，根据所述界面尺寸参数确定炉体内所需的氩气温度为第一温度；S4，将通入所述炉体内的氩气温度调节为所述第一温度。根据本发明的晶体生长的控制方法，通过改变氩气的温度，可以直接快速改变生长界面处的温度，由此，可以快速地调节生长界面处的温度，从而及时控制晶体直径，抑制晶体直径变化幅度，稳定晶体的生长速度，进而提高晶体的品质，并且对生长界面处的温度调节快，响应速度快，对晶体的品质控制效果更佳。
主权项：1.一种晶体生长的控制方法，其特征在于，包括：S1，向炉体内通入温度为预设温度的氩气；S2，获取晶体在生长界面位置的界面尺寸参数；S3，根据所述界面尺寸参数确定炉体内所需的氩气温度为第一温度；S4，将通入所述炉体内的氩气温度调节为所述第一温度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中环领先(徐州)半导体材料有限公司 中环领先半导体科技股份有限公司 晶体生长的控制方法和晶体生长设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号