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申请/专利权人:咸阳旭光晶圆材料科技有限公司
摘要:本申请涉及晶体生长领域,具体公开了一种蓝宝石晶体的生长工艺及制得的蓝宝石晶体,蓝宝石晶体的生长工艺包括以下步骤:S1、备料,准备氧化铝、氧化铁和氧化钛作为原料;S2、将68‑75%添加量的氧化铝粉等静压后一次熔料;然后将余下的氧化铝加入氧化铁、氧化钛,同时添加石墨粉,等静压成料棒,准备二次熔料;S3、抽真空并升温,充入至少包含有氩气和二氧化碳的混合气氛,在CO‑CO2氛围中升温至熔体熔化;S4、基于提拉法进行晶体生长,制得蓝宝石晶体;本申请还公开了通过上述方法制得的蓝宝石晶体,本申请具有解决现有生长制得蓝宝石存在颜色不均匀、色泽暗淡、色差大的问题,获得纯正天蓝色、品质更好蓝宝石的特点。
主权项:1.一种蓝宝石晶体的生长工艺,其特征在于,包括以下步骤:S1、备料,准备氧化铝、氧化铁和氧化钛作为原料;S2、将68-75%添加量的氧化铝粉等静压后一次熔料;然后将余下的氧化铝加入氧化铁、氧化钛,同时添加石墨粉,等静压成料棒,准备二次熔料;S3、抽真空并升温,充入至少包含有氩气和二氧化碳的混合气氛,在CO-CO2氛围中升温至熔体熔化,完成二次熔料;S4、基于提拉法进行晶体生长,制得蓝宝石晶体。
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