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用于有效降低与HF RF发生器相关的反射功率的系统和方法 

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申请/专利权人:朗姆研究公司

摘要:描述了一种用于降低反射射频RF功率的方法。该方法包括从匹配器的输出接收电压信号。该方法还包括将电压信号划分为多个区间,并从多个区间中识别出包含过零点的区间。该区间与高频HF信号的频率相关联。该方法还包括将固定乘数应用于HF信号的频率以产生多个偏移。该方法包括在电压信号为正或负的时间段内根据多个偏移操作HFRF发生器。

主权项:1.一种用于减少反射射频RF功率的方法,其包括:接收来自耦合到低频LFRF发生器和高频HFRF发生器的匹配器的输出的电压信号;将所述电压信号分成多个区间;从所述多个区间中识别包括过零点的第一区间,其中所述第一区间与由所述HFRF发生器产生的HFRF信号的频率相关联;将第一固定乘数应用于所述HFRF信号的所述频率以产生第一多个负偏移;将第二固定乘数应用于所述HFRF信号的所述频率以产生第一多个正偏移;在所述电压信号为正的时间段内根据所述第一多个负偏移操作所述HFRF发生器;以及在所述电压信号为负的时间段内根据所述第一多个正偏移操作所述HFRF发生器。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 朗姆研究公司 用于有效降低与HF RF发生器相关的反射功率的系统和方法

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