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申请/专利权人：浙江大学
摘要：本发明公开了一种高灵敏度大量程的微型超晶格波导型片上加速度计。本发明将超晶格波导结构制备在敏感结构的微梁上形成透射型马赫‑曾德型干涉仪的机械结构，不仅将弯曲有效长度放大了数十倍，极大的提升了灵敏度，且将近距离波导间串扰降到了最小。超晶格波导阵列结构的第一干涉臂和第二干涉臂在不改变最大应力的情况下将灵敏度提升数十倍。当敏感方向y存在加速度时，两个质量块在y方向位置发生偏移，两条干涉路径上存在相位差，再利用超晶格波导阵列将相位差放大，最后通过马赫‑曾德型干涉仪输出干涉信号。本发明具有高灵敏度，小体积，抗电磁干扰等优点，适用于精密工程、航天和医疗科学研究领域。
主权项：1.一种高灵敏度大量程的微型超晶格波导型片上加速度计，其特征在于，包括光源1、起偏器2、基于微型超晶格波导的马赫-曾德型干涉仪、光功率计19和解调反馈电路20；基于微型超晶格波导的马赫-曾德型干涉仪包括干涉仪输入组件、微型超晶格波导型敏感单元7和干涉仪输出组件，光源1经起偏器2后再与干涉仪输入组件相连，干涉仪输入组件经微型超晶格波导型敏感单元7后再与干涉仪输出组件相连，干涉仪输出组件经光功率计19后再与解调反馈电路20相连；其中，干涉仪输入组件和干涉仪输出组件均包括从下到上依次层叠布置地硅衬底27、二氧化硅氧化层28、铌酸锂波导层和上包层32。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 一种高灵敏度大量程的微型超晶格波导型片上加速度计
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