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用于移送光学装置的设备与方法 

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申请/专利权人:应用材料公司

摘要:本公开内容的实施方式一般涉及光学装置。更具体地,本文描述的实施方式涉及用于夹持grip光学装置的设备与方法。在一个实施方式中,一种用于夹持光学装置的设备包括基部,该基部耦接到从基部的底表面延伸的杆的近端。该设备还包括可移动地耦接到基部的底表面的多个臂。该多个臂耦接到致动器,该致动器可操作以沿着平行于该基部的该底表面的X‑Y平面侧向地移动该多个臂。在一些实施方式中,该设备包括可操作以提供非接触垂直吸力的吸引衬垫。

主权项:1.一种用于固定光学装置的设备,包括:基部,所述基部耦接到杆的近端,其中所述杆从所述基部的底表面延伸;吸引衬垫,所述吸引衬垫设置在所述杆的远程,所述吸引衬垫可操作以对待固定的基板提供垂直吸力;多个臂,所述多个臂可移动地耦接到所述基部的所述底表面,所述多个臂耦接到致动器,所述致动器可操作以沿着平行于所述基部的所述底表面的X-Y平面侧向地移动所述多个臂;和多个固定垫,所述多个固定垫设置在所述多个臂中的各者上。

全文数据:

权利要求:

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