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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：本发明公开了一种用于对来自激光器500的束23b进行转向以将束与EUV光源10中的源材料目标14对准的装置和方法，在该EUV光源中，使得声光设备510除了执行更典型地由专用声光调制器执行的束能量幅度控制功能之外还执行脉冲转向功能，从而消除了在激光器和目标之间的束路径中对单独的声光设备的需求。
主权项：1.一种用于产生辐射束的激光器，所述激光器包括：至少一种激光增益介质，用于生成所述辐射束；以及声光设备，被布置为接收所述辐射束并且被适配为控制所述辐射束的输出幅度和对所述辐射束进行转向两者。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 激光束转向系统和方法
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