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申请/专利权人:广东工业大学
摘要:本申请公开了一种高温自润滑TiAlMoCuN涂层及制备方法和应用,涂层采用阴极弧蒸发或者阴极弧蒸发结合磁控溅射的方式沉积获得,涂层应用于金属切削刀具或成型模具表面。涂层结构在高温环境下具有低摩擦系数,在高温下形成核壳结构的Mo‑OCu‑O自润滑氧化物纳米柱及其阵列分布,剪切模量低且能够减少与对磨球的接触面积,从而降低摩擦系数,在高温环境下具有良好的耐磨性,满足现代切削难加工材料对涂层性能的需求。
主权项:1.一种高温自润滑TiAlMoCuN涂层的制备方法,其特征在于:将沉积腔室抽真空至5*10-3Pa,温度加热为450至650℃;通入惰性气体,调节气压为2至3Pa,开启直流脉冲偏压电源,调节偏压为-600V、频率为80kHz,温度降低为300至400℃,对基体进行辉光处理30至60min;通入氮气,控制氮气和惰性气体的分压,设置阴极弧蒸发TiAlMoCu合金靶材的电流密度为0.6Acm2至1.8Acm2,基体偏压为-40至-160V。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 广东工业大学 一种高温自润滑TiAlMoCuN涂层及制备方法和应用
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