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申请/专利权人：佛山市蓝箭电子股份有限公司

摘要：本申请涉及半导体器件生产技术领域，提供一种用于加工半导体线框的烘箱以及烘烤装置，用于烘烤装在推车上的半导体线框，其中烘箱包括：烘箱本体，烘箱本体内设置有烘烤腔室；门体，门体活动连接在烘箱本体上，并通过翻转而开启或关闭烘烤腔室；箱外垫台，箱外垫台固定设置在烘烤腔室的外部；箱内垫板，箱内垫板活动设置在烘箱本体上，并具有翻转到烘烤腔室外的第一状态以及翻转到烘烤腔室内的第二状态；在第一状态下，箱内垫板位于烘烤腔室外的一端与箱外垫台相连接而形成上行轨道，以使推车沿上行轨道移动到烘烤腔室内。解决现有技术中采用逐箱搬进烘箱的过程导致操作不方便、工作效率低的问题。

主权项：1.一种用于加工半导体线框的烘箱，用于烘烤装在推车上的半导体线框，其特征在于，所述烘箱包括：烘箱本体，所述烘箱本体内设置有烘烤腔室；门体，所述门体活动连接在所述烘箱本体上，并通过动转而开启或关闭烘烤腔室；箱外垫台，所述箱外垫台固定设置在所述烘烤腔室的外部；箱内垫板，所述箱内垫板活动设置在所述烘箱本体上，并具有翻转到所述烘烤腔室外的第一状态以及翻转到所述烘烤腔室内的第二状态；在所述第一状态下，所述箱内垫板位于所述烘烤腔室外的一端与所述箱外垫台相连接而形成上行轨道，以使所述推车沿所述上行轨道移动到所述烘烤腔室内；在第二状态下，所述箱内垫板嵌于所述推车上的卡嵌位中，以对位于所述烘烤腔室内的所述推车进行限位；所述烘箱还包括：驱动机构，所述驱动机构连接所述门体和所述箱内垫板，所述驱动机构通过所述门体的转动而驱动所述箱内垫板活动，以使所述箱内垫板在第一状态和第二状态之间转换；所述驱动机构包括：连接组件，所述连接组件铰接在所述门体上；齿条，所述齿条连接所述连接组件并活动设置在所述烘烤腔室内，所述齿条通过所述连接组件的驱动而沿左右方向移动；齿轮组件，所述齿轮组件设置在所述烘烤腔室内，并与所述齿条相啮合；所述箱内垫板连接所述齿轮组件，在所述齿条的驱动下所述箱内垫板通过所述齿轮组件的带动而翻转出所述烘烤腔室外或翻转到所述烘烤腔室内；其中，所述齿轮组件包括：第一齿轮、第一锥齿轮以及第二锥齿轮，所述第一齿轮转动设置在所述烘烤腔室的内部底面上，并与所述齿条相啮合；所述第一锥齿轮与所述第一齿轮同轴固定连接；所述第二锥齿轮与所述箱内垫板的转轴相连接，且与所述第一锥齿轮相啮合；所述烘烤腔室内设置有导向架，所述导向架内沿左右方向开设有导向槽；所述齿条上连接有导向滑块，所述导向滑块嵌于所述导向槽内滑移；所述连接组件包括：连接部，以及位于所述连接部两端的铰接头；所述铰接头分别铰接所述门体的内壁和所述齿条；所述连接部包括：第一连接杆，一个所述铰接头设置在所述第一连接杆的一端；第二连接杆，另一个所述铰接头设置在所述第二连接杆的一端；以及弹性件，所述弹性件连接所述第一连接杆和所述第二连接杆，所述弹性件采用弹簧，所述弹簧既能实现拉伸也能实现压缩；在所述第一连接杆和所述第二连接杆的其中之一上设置导向柱，另一个上设置导向孔，所述导向柱卡嵌在导向孔内进行滑移，并且所述弹簧套设在所述导向柱上，使所述弹簧的一端固定连接第一连接杆、另一端固定所述第二连接杆；在所述门体转动而带动所述齿条进行移动的过程中，所述弹性件不变形而起到传递力的作用，以在所述门体转动过程中带动所述第一连接杆和所述第二连接杆同步移动，以带动所述齿轮组件进行运动，从而使所述箱内垫板可以转动；在所述箱内垫板转动到外部与所述箱外垫台进行对接后，所述齿轮组件无法转动的情况下，通过所述弹性件的弹力作用，使所述门体仍继续转动，所述门体继续转动时的所述弹性件通过所述齿条和所述第一连接杆不进行左右移动而增大拉力，而使所述弹性件实现拉伸。

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