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定日镜清洗及清洁度测量系统、定日镜清洁度测量方法 

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申请/专利权人:浙江可胜技术股份有限公司

摘要:本发明公开了一种定日镜清洗及清洁度测量系统,该系统包括定日镜清洗装置、清洁度测量装置、水路循环系统和数据分析系统;清洁度测量装置包括清洗液收集装置、过滤装置和颗粒信息采集装置,数据分析系统与颗粒信息采集装置通信连接,数据分析系统通过分析固体颗粒信息,以获取定日镜清洗前的清洁度。还公开了定日镜清洁度测量方法。本发明的该系统,通过分析清洗废液的固体颗粒信息,即可获知定日镜清洗前的清洁度,一台设备同时完成定日镜的清洗和清洁度测量两种作业,提高了作业效率;相对于现有的清洁度测量方法,可以避免外部环境的干扰,从而提高清洁度测量的精度,为后续定日镜的清洗策略和运行策略的制定提供依据。

主权项:1.一种定日镜清洗及清洁度测量系统,其特征在于,包括定日镜清洗装置、清洁度测量装置、水路循环系统和数据分析系统;所述水路循环系统分别连接所述定日镜清洗装置和所述清洁度测量装置,形成清洁水循环;其中,所述清洁度测量装置包括用于接收清洗废液的清洗液收集装置、用于过滤清洗废液的过滤装置和用于采集固体颗粒信息的颗粒信息采集装置,所述过滤装置和所述颗粒信息采集装置分别固定于所述清洗液收集装置内;所述过滤装置包括滤膜板和驱动所述滤膜板翻转的翻转驱动机构;所述数据分析系统与所述颗粒信息采集装置通信连接,所述颗粒信息采集装置采集过滤装置过滤后残留的固体颗粒信息,并将其反馈给所述数据分析系统,所述数据分析系统通过分析固体颗粒信息,以获取定日镜的清洁度;所述清洗液收集装置包括装置本体和用于承接废液的承接装置,所述承接装置固定于所述装置本体外,且所述承接装置的一个端部连接至所述装置本体,所述过滤装置和所述颗粒信息采集装置分别固定于所述装置本体内;所述装置本体包括内腔体、外腔体和混合装置,所述外腔体固定,所述内腔体固定于所述外腔体内部,所述混合装置固定且其输出端与所述内腔体连接,以驱动所述内腔体转动。

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权利要求:

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