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申请/专利权人：相干公司
摘要：提供了一种激光退火装置包括多个三倍频固态激光器，每个输出波长在340nm和360nm之间的辐射束。每个输出光束的光束品质因数M2在一个横轴上大于50，在另一个横轴上大于20。输出光束被组合并形成线束，投射到正在退火的基板上。每个输出光束对线束的长度有贡献。
主权项：1.用于对基板上的层进行退火的光学装置，包括：多个变频重复脉冲固态激光器，每个变频重复脉冲固态激光器包括在第一和第二谐振器镜之间形成的激光谐振器，所述激光谐振器包括由光泵浦激励的平板形式的增益元件以在增益元件中提供增益体积，激励的谐振器产生基本辐射束，每个固态激光器还包括至少一个非线性晶体，用于将一部分基本辐射束转换成波长在电磁光谱的紫外区中的输出光束，每个输出光束的横截面的特征在于相互正交的第一横轴和第二横轴；以及线投影仪，其布置成接收所述输出光束，将所述输出光束形成为线束，并将线束投射到层上，线束在层上具有长度和宽度；其中选择增益体积的横截面尺寸、第一和第二谐振器镜之间的谐振器长度、第一和第二谐振器镜的光功率以及至少一个非线性晶体中的传播距离，以实现输出光束的第一横轴上的光束品质因数M2大于50，输出光束的第二横轴上的光束品质因数M2大于20，激光脉冲具有大于100毫焦耳的脉冲能量，以及脉冲重复频率大于100赫兹；以及其中选择激光谐振器的输出耦合和脉冲重复频率以产生具有大于100毫焦耳的脉冲能量以及大于100赫兹的脉冲重复频率的激光脉冲。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 相干公司 用于激光退火的二极管泵浦固态激光装置
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