龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：奥恒科技股份有限公司
摘要：本实用新型提供一种抽气结构及基板处理装置，所述抽气结构包括顶部件、底部件及分隔件。底部件相对于顶部件设置，并在底部具有一个抽气孔。分隔件设置在所述顶部件与所述底部件之间，并具有2n个气体通孔。本实用新型所提供的抽气结构及包含其的基板处理装置能使抽气路径一致化，进而使基板上的薄膜沉积均匀化。
主权项：1.一种抽气结构，其特征在于，所述抽气结构包括：顶部件；底部件，所述底部件相对于所述顶部件设置，并在底部具有一个抽气孔；以及分隔件，所述分隔件设置在所述顶部件与所述底部件之间，并具有2n个气体通孔，其中，n为大于零的整数。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 奥恒科技股份有限公司 抽气结构及基板处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号