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申请/专利权人：夏泰鑫半导体(青岛)有限公司
摘要：一种抽气装置，包括反应室、真空泵和连通组件，所述真空泵通过所述连通组件与所述反应室连通。所述连通组件包括第一连接管和第二连接管。所述第一连接管和所述第二连接管对称设置在所述反应室两侧并与所述反应室连通。所述真空泵与所述第一连接管和所述第二连接管连通。所述第一连接管的直径小于所述第二连接管以调整所述反应室内气体的浓度。上述抽气装置通过对称设置但具有不同直径的第一连接管和第二连接管调整反应室内的气体浓度，提高半导体晶片上的沉积薄膜质量，同时简化气体调节的结构。
主权项：1.一种抽气装置，包括：反应室；真空泵；和连通组件，所述真空泵通过所述连通组件与所述反应室连通；其特征在于，所述连通组件包括第一连接管和第二连接管；所述第一连接管和所述第二连接管对称设置在所述反应室两侧并与所述反应室连通；所述真空泵与所述第一连接管和所述第二连接管连通；所述第一连接管的直径小于所述第二连接管，所述连通组件还包括第三连接管，所述真空泵通过所述第三连接管与所述第一连接管和所述第二连接管连通，所述真空泵与所述第一连接管之间的管路长度小于所述真空泵与所述第二连接管之间的管路长度，以调整所述反应室内气体的浓度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 抽气装置及其抽气方法
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