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申请/专利权人:江苏首芯半导体科技有限公司
摘要:本实用新型公开一种薄膜沉积设备外设数据采集系统,包括控制单元、上位机、交流配电设备、热交换设备及半导体材料输送系统;所述控制单元分别与交流配电设备、热交换设备和半导体材料输送系统连接;所述控制单元用于采集交流配电设备、热交换设备和半导体材料输送系统的数据,并将其传输至上位机。独立设置了控制单元,控制单元具有外置模块接口,可以通过外置模块接口接入外置模块并实现与外置设备的连接,可以自由增加各种类模块,灵活性好,拓展性强。
主权项:1.一种薄膜沉积设备外设数据采集系统,其特征在于,包括控制单元、上位机、交流配电设备、热交换设备及半导体材料输送系统;所述控制单元分别与交流配电设备、热交换设备和半导体材料输送系统连接;所述控制单元用于采集交流配电设备、热交换设备和半导体材料输送系统的数据,并将其传输至上位机。
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