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申请/专利权人：河南鸿泰钻石科技有限公司
摘要：本发明公开了用于功能性金刚石生产的控制系统，包括第一温度采集模块，用于采集真空腔体的第一温度数据；第二温度采集模块，用于采集衬底的第二温度数据；第一处理模块，用于判断第一温度数据是否超过第一预设温度阈值；图像处理模块，用于获取籽晶在衬底上的分布信息，基于第二温度数据生成热辐射视图并对应籽晶分布信息，及对热辐射视图进行切分，将切分后各区域与衬底对应；第二处理模块，用于判断各切分区域的最高温度是否超过第二预设温度阈值，在超过第二预设温度阈值判断为异常区域，并控制第二冷却设备对异常区域降温。还公开用于功能性金刚石生产的控制方法。本发明可对生长过程温度有效监控及调节，提高良品率及生产效率。
主权项：1.用于功能性金刚石生产的控制系统，其特征在于，包括第一温度采集模块，用于采集真空腔体的第一温度数据；第二温度采集模块，用于采集衬底的第二温度数据；第一处理模块，用于判断第一温度数据是否超过第一预设温度阈值；图像处理模块，用于获取籽晶在衬底上的分布信息，基于第二温度数据生成热辐射视图并对应籽晶分布信息，及对热辐射视图进行切分，将切分后各区域与衬底对应；第二处理模块，用于判断各切分区域的最高温度是否超过第二预设温度阈值，在超过第二预设温度阈值判断为异常区域，并控制第二冷却设备对异常区域降温。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南鸿泰钻石科技有限公司 用于功能性金刚石生产的控制系统及方法
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