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申请/专利权人：清华大学天津高端装备研究院;清华大学
摘要：本发明提供了一种金刚石线锯用切割液及制备方法和应用，按照质量分数计包括以下组分：多元饱和醇2～20％；有机酸0.01～5％；有机碱0.01～5％；聚醚1～80％；消泡剂0.01～1％；沉降剂0.01～1％；其余为去离子水。采用上述配方后，本发明的金刚石线锯用切割液能够降低电导率，减小表面张力，提升硅粉沉降性，减少泡沫富集，增强润滑性，降低片均线痕和TTV，提高切割效率；另外，本发明的成分成本低，便于推广应用。
主权项：1.一种金刚石线锯用切割液，其特征在于，按质量百分数计，包括：
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学天津高端装备研究院 清华大学 一种金刚石线锯用切割液及制备方法和应用
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