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申请/专利权人：浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了具有保护功能的外延片载具，涉及外延片载具技术领域，包括侧部带有开口的外延片盒，还包括：密封门板，其密封覆盖于外延片盒开口处；多个阵列设置的第一承托件，其设置于外延片盒侧壁，其用于对外延片承托支撑；限位架，其活动置于第一承托件与外延片盒之间，其能够在第一承托件与外延片盒之间滑动，能够对第一承托件进行限位；本发明通过设置第一弹性部，在机械臂放置外延片时，若机械臂不小心触碰到第一承托件，由于第一弹性部的设置，只会引起单个第一弹性部变形，避免被误触碰导致所有第一承托件晃动的问题，进而提高对外延片的保护效果。
主权项：1.具有保护功能的外延片载具，包括侧部带有开口的外延片盒（1），其特征在于，还包括：密封门板（2），其密封覆盖于外延片盒（1）开口处；多个阵列设置的第一承托件（3），其设置于外延片盒（1）侧壁，其用于对外延片承托支撑；限位架（4），其活动置于所述第一承托件（3）与外延片盒（1）之间，其能够在所述第一承托件（3）与外延片盒（1）之间滑动，能够对所述第一承托件（3）进行限位；滑杆（11），其设置于所述限位架（4）上，且贯穿所述外延片盒（1）与外延片盒（1）密封滑动连接；锥形锁套（5），其套设于所述滑杆（11）位于外延片盒（1）外的一端，且通过固定件（6）与外延片盒（1）侧壁连接；锁止件（7），其套设于所述锥形锁套（5）外，按压所述锁止件（7），其能与所述锥形锁套（5）锁止为一体；卡接套（8），其位于所述锁止件（7）远离锥形锁套（5）的一侧，其能与所述锁止件（7）卡接配合，其通过所述第一弹性件（9）与外延片盒（1）连接，其还通过弹性层（10）与外延片盒（1）连接，当所述锁止件（7）与卡接套（8）卡接，且所述锁止件（7）与锥形锁套（5）锁止为一体时，在所述第一弹性件（9）弹力作用下，能使所述卡接套（8）与锁止件（7）分离。
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权利要求：
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