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申请/专利权人：南方科技大学
摘要：本发明涉及量子材料领域，特别涉及一种强氧化原子层外延方法。本发明公开了在超高真空反应腔体中注入1E‑4Pa至15Pa量级臭氧，或相当的臭氧与氧气的混合气体氛围，通过纳秒级脉冲深紫外激光烧蚀氧化物固态源，产生目标元素的高能量等离子体；紫外激光烧蚀过程中切换固态源。本发明中，每一种固态源对应一个原子层的生长，通过对固态源的切换从而实现原子层精确外延。
主权项：1.一种强氧化原子层外延方法，其特征是：在超高真空反应腔体中注入1E-4Pa至15Pa量级臭氧或相当的臭氧与氧气的混合气体，通过纳秒级脉冲深紫外激光烧蚀氧化物固态源，产生目标元素的高能量等离子体；紫外激光烧蚀过程中切换固态源。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南方科技大学 一种强氧化原子层外延方法
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