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申请/专利权人：华芯半导体科技有限公司
摘要：一种恒温水浴槽水位监测控制的半导体设备台，本发明涉及半导体技术领域，它包含恒温水槽本体和源瓶；恒温水槽本体底壁腔体中设置有数个电动升降杆，电动升降杆的输出端穿过腔壁后，连接有放置平台，源瓶设置于放置平台上；电动升降杆与设置于恒温水槽本体顶部的主控器电控连接。能监控确保恒温水浴槽体内源瓶有效固定，恒温水浴槽体内的源瓶不论大小高低都可以处于同一高度水平位置，同时还能够监测水浴槽内的液体的浓度是否符合需求。
主权项：1.一种恒温水浴槽水位监测控制的半导体设备台，其特征在于：它包含恒温水槽本体（1）和源瓶（4）；恒温水槽本体（1）底壁腔体中设置有数个电动升降杆（2），电动升降杆（2）的输出端穿过腔壁后，连接有放置平台（3），源瓶（4）设置于放置平台（3）上；电动升降杆（2）与设置于恒温水槽本体（1）顶部的主控器（6）电控连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华芯半导体科技有限公司 一种恒温水浴槽水位监测控制的半导体设备台
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