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申请/专利权人:清华大学天津高端装备研究院;清华大学
摘要:本发明提供了一种光伏硅片固结磨料切割液及制备方法,所述切割液中各组分所占重量百分比为:多功能聚醚10~80%,有机酸0.02~2%、有机碱0.2~2%、沉降剂0.02~5%,余量为去离子水。本发明提供的金刚石线锯用切割液具有较强的润湿、渗透性能,适用于大尺寸硅片切割,能够减少线痕、降低金刚线的磨损。
主权项:1.一种光伏硅片固结磨料切割液,其特征在于:按质量百分比计包括:多功能聚醚10~80%;有机酸0.02~2%;有机碱0.2~2%;沉降剂0.02~5%;余量为去离子水。
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权利要求:
百度查询: 清华大学天津高端装备研究院 清华大学 一种光伏硅片固结磨料切割液及制备方法
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