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申请/专利权人：中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心
摘要：本发明公开了测试设备技术领域的一种MEMS扫描镜光学偏转角的自动测试系统及方法，MEMS扫描镜包括微光反射镜以及用于驱动微光反射镜沿X轴和Y轴摆动的X轴驱动器和Y轴驱动器；自动测试系统包括：激光器，被配置于在微光反射镜处于谐振摆动状态下，朝向微光反射镜发出激光线；PSD模块，与激光器设置于微光反射镜的同侧，被配置于接收微光反射镜反射的激光线并生成电信号；电压采集模块，与PSD模块连接，被配置于接收PSD模块生成的电信号并生成电压信号；系统控制模块，与电压采集模块连接，被配置于接收电压采集模块生成的电压信号并计算偏转角；本发明具有自动化程度高、精度和稳定性好的优点。
主权项：1.一种MEMS扫描镜光学偏转角的自动测试系统，所述MEMS扫描镜包括微光反射镜以及用于驱动所述微光反射镜沿X轴和Y轴摆动的X轴驱动器和Y轴驱动器；其特征在于，所述自动测试系统包括：激光器，被配置于在所述微光反射镜处于谐振摆动状态下，朝向所述微光反射镜发出激光线；PSD模块，与所述激光器设置于所述微光反射镜的同侧，被配置于接收所述微光反射镜反射的激光线并生成电信号；电压采集模块，与所述PSD模块连接，被配置于接收所述PSD模块生成的电信号并生成电压信号；系统控制模块，与所述电压采集模块连接，被配置于接收所述电压采集模块生成的电压信号并计算偏转角。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 一种MEMS扫描镜光学偏转角的自动测试系统及方法
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