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申请/专利权人：国镓芯科(成都)半导体科技有限公司

摘要：本发明涉及残留物检测技术领域，具体公开了一种用于反应釜残留物检测的装置及检测方法，包括：移动机构和视觉检测机构，移动机构用于实现视觉检测机构的竖直位移和旋转位移；视觉检测机构包括圆形支撑板；圆形支撑板的上端面与移动机构的末端连接，圆形支撑板的侧壁设置有与弧形固定块相配合的弧形缺口，圆形支撑板内设置有用于放置第一水平伸缩件的空腔；弧形固定块与第一水平伸缩件连接；第一内窥镜竖直固定在弧形固定块上；楔形固定块设置在圆形支撑板的下方，第二内窥镜安装于楔形固定块的斜面上。本发明能够解决现有采用内窥镜检查反应釜内残留物导致的检测误差的问题，且能实现一次进入反应釜即可完成反应釜内的全方位检测。

主权项：1.一种用于反应釜残留物检测的装置，其特征在于，包括：移动机构（1），用于实现其末端连接件的竖直位移和旋转位移，所述移动机构（1）包括竖直伸缩组件和旋转组件；视觉检测机构（2），设置在所述移动机构（1）的末端，通过所述移动机构（1）驱动所述视觉检测机构（2）在反应釜（100）内移动，所述视觉检测机构（2）包括圆形支撑板（21）、弧形固定块（22）、第一内窥镜（23）、楔形固定块（25）、第二内窥镜（26）和第一水平伸缩件（28）；所述圆形支撑板（21）的上端面与所述移动机构（1）的末端连接，所述圆形支撑板（21）的侧壁设置有与所述弧形固定块（22）相配合的弧形缺口，所述圆形支撑板（21）内设置有用于放置所述第一水平伸缩件（28）的空腔，且所述空腔与所述弧形缺口连通；所述弧形固定块（22）与所述第一水平伸缩件（28）的伸缩端端部连接，通过所述第一水平伸缩件（28）实现所述弧形固定块（22）嵌入所述弧形缺口内或沿着所述圆形支撑板（21）的径向向外伸出；所述第一内窥镜（23）竖直固定在所述弧形固定块（22）上，用于对所述反应釜（100）的内壁进行检测；所述楔形固定块（25）设置在所述圆形支撑板（21）的下方，且所述楔形固定块（25）与所述弧形固定块（22）连接，所述楔形固定块（25）的下端面为斜面，所述第二内窥镜（26）安装于该斜面上，用于对所述反应釜（100）的底部进行检测。

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百度查询： 国镓芯科(成都)半导体科技有限公司 一种用于反应釜残留物检测的装置及检测方法