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申请/专利权人：杭州广立测试设备有限公司
摘要：本发明提供了一种小电流数据的测试方法，包括：获取待测晶圆测试得到的第一测试数据、产品的基准文件和产品的模板测试规格文件，进行自动匹配处理生成的第二测试计划，自动匹配处理，包括：将第一测试数据中的小电流数据对测试项在不同稳定系数条件下求均值，判断均值是否小于设定值；若均值小于设定值，则对积分时间短的测试项的小电流数据在稳定系数范围内做拟合求变化率，求出最佳稳定系数和偏移值；根据最佳稳定系数计算不同积分时间条件下的标准差，判断计算得到的小电流数据的标准差与基准文件的标准差比值是否小于设定值，用此来判断最佳积分时间，本发明提供的小电流数据的测试方法可以实现不同厂家测试结果的兼容使用。
主权项：1.一种小电流数据的测试方法，其特征在于：包括：获取待测晶圆测试得到的第一测试数据、产品的基准文件和产品的模板测试规格文件，进行自动匹配处理生成的第二测试计划，用于后续测试；其中，所述产品的基准文件包括测试项、测试项的均值和标准差，用来对所述第一测试数据在自动匹配处理过程中作对比判断；根据第一测试数据的输出项目特征将所述第一测试数据中的小电流数据提取；所述自动匹配处理，包括：将所述小电流数据对测试项在不同稳定系数条件下求均值，判断均值是否小于设定值；若所述均值小于设定值，则对积分时间短的测试项的小电流数据在稳定系数范围内做拟合求变化率，根据变化率做数据拟合，求出最佳稳定系数和偏移值；根据最佳稳定系数计算不同积分时间条件下的标准差，判断计算得到的小电流数据的标准差与基准文件的标准差比值是否小于设定值，用此来判断最佳积分时间；获得小电流数据的最佳条件并代入到产品的模板测试规则文件中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州广立测试设备有限公司 一种小电流数据的测试方法
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