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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
摘要：本发明公开一种基于分子动力学模拟的光刻材料显影液的筛选方法。本发明将Hansen溶解度参数、二组分溶解度参数和序参数进行结合，可以快速从溶剂库中筛选出适合光刻材料显影液的溶剂范围，降低显影液筛选过程中的试错成本，加快光刻材料的研发进度。该筛选方法并不限制光刻材料的分子结构，普适性强，尤其对于新合成的光刻材料的显影液筛选效果更加明显，可应用于多种光刻材料的显影液筛选过程。
主权项：1.一种基于分子动力学模拟的光刻材料显影液的筛选方法，其特征在于，包括以下步骤：基于分子动力学模拟获取各种溶剂的Hansen溶解度参数和二组分溶解度参数；基于分子动力学模拟获取光刻材料在曝光前和曝光后的Hansen溶解度参数和二组分溶解度参数；基于分子动力学模拟获取光刻材料曝光前和曝光后在每一种溶剂中的序参数；将得到的Hansen溶解度参数、二组分溶解度参数和序参数进行可视化处理，进行光刻材料显影液的筛选。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 一种基于分子动力学模拟的光刻材料显影液的筛选方法
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