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申请/专利权人：浙江海纳精密设备有限公司

摘要：本发明提供了一种低浓度残余气体的检测系统和检测方法，检测系统包括：第一富集装置和第二富集装置；进样管路，进样管路连接第一富集装置和第二富集装置，且进样管路上设有第一电磁阀和第二电磁阀；采样管路，采样管路连接第一富集装置和第二富集装置，且采样管路上设有第四电磁阀、第六电磁阀和第七电磁阀；其中，当对第一富集装置和采样管路进行冲洗时，第一气体在第二富集装置中富集；当对第二富集装置和采样管路进行冲洗时，第一气体在第一富集装置中富集；当对进样管路进行冲洗时，第一解析气体进入质谱端；当对进样管路进行冲洗时，第二解析气体进入质谱端。本发明解决现有技术中富集装置检测周期较长，无法满足快速检测需求的技术问题。

主权项：1.一种低浓度残余气体的检测系统，其特征在于，所述检测系统包括：第一富集装置110和第二富集装置120，所述第一富集装置110和所述第二富集装置120用于接收第一气体10，其中，通过所述第一富集装置110将所述第一气体10进行富集、解析以生成第一解析气体，通过所述第二富集装置120将所述第一气体10进行富集、解析以生成第二解析气体；进样管路，所述进样管路连接所述第一富集装置110和所述第二富集装置120，且所述进样管路上设有第一电磁阀610和第二电磁阀620，所述第二电磁阀620连接所述第一富集装置110和所述第二富集装置120，所述第一电磁阀610连接所述第二电磁阀620；采样管路，所述采样管路连接所述第一富集装置110和所述第二富集装置120，且所述采样管路上设有第四电磁阀640、第六电磁阀660和第七电磁阀670，所述第四电磁阀640连接所述第一富集装置110和所述第七电磁阀670，所述第六电磁阀660连接所述第二富集装置120和所述第七电磁阀670，所述第七电磁阀670连接质谱端400和废气收集装置500；其中，当对所述第一富集装置110和所述采样管路进行冲洗时，所述第一气体10在所述第二富集装置120中富集；当对所述第二富集装置120和所述采样管路进行冲洗时，所述第一气体10在所述第一富集装置110中富集；当对所述进样管路进行冲洗时，所述第一解析气体进入所述质谱端400；当对所述进样管路进行冲洗时，所述第二解析气体进入所述质谱端400。

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