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制造用于分析生化材料的分析单元的底部的方法和分析单元 

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申请/专利权人:罗伯特·博世有限公司

摘要:本发明涉及制造用于分析生化材料(101)的分析单元(100)的底部(102)的方法。在此,以特定混合比将富碳前体分子和贫碳前体分子沉积在基底上,以形成前体层,其中,所述贫碳前体分子具有特定大小和疏水性封端物。在进一步的步骤中,以合适的方式对所述前体层进行后处理,以将底部(102)制成具有至少一个孔(104)的层,该孔具有取决于所述特定大小的孔径和取决于所述特定混合比的孔数。

主权项:1.制造用于分析生化材料101的分析单元100的底部102的方法300,其中,该方法300包括以下步骤:以特定混合比将富碳前体分子和贫碳前体分子沉积310在基底上,以形成前体层,其中,所述贫碳前体分子具有特定大小和疏水性封端物;并且对所述前体层进行后处理320,以将所述底部102制成具有至少一个孔104的层,该孔具有取决于所述特定大小的孔径和取决于所述特定混合比的孔数,其中在所述沉积310步骤中,借助原子层沉积和或气相沉积和或液相沉积来沉积所述富碳前体分子和或所述贫碳前体分子。

全文数据:

权利要求:

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