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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供了一种Quantum系列靶材的机械加工方法，所述Quantum系列靶材的机械加工方法包括如下步骤：1采用立铣刀对Quantum系列靶材的侧面进行切削处理，得到第一靶材；2采用数控机床对步骤1得到的第一靶材的斜面进行切削处理，得到目标靶材；步骤1所述切削处理与步骤2所述切削处理分别独立地采用切削液进行冷却。本发明首先采用立铣刀对Quantum系列靶材的侧面进行切削处理，然后结合四轴连动机床对斜面进行切削处理，得到表面光滑，没有震刀纹，且外观及尺寸符合要求的目标靶材。
主权项：1.一种靶材的机械加工方法，其特征在于，所述靶材的机械加工方法包括如下步骤：1采用立铣刀对高度为200mm的靶材的侧面进行切削处理，得到第一靶材；所述切削处理所用立铣刀的主轴的转速为1500-2500rmin，进给速度为30-60mmmin，背吃刀量为0.01-0.05mm；2采用数控机床对步骤1得到的第一靶材的斜面进行切削处理，得到目标靶材；所述切削处理所用侧铣刀盘的主轴转速为1500-3000rmin，进给速度为30-60mmmin，背吃刀量为0.1-1.5mm；所述数控机床包括四轴联动机床。
全文数据：
权利要求：
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