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申请/专利权人：先导薄膜材料(江苏)有限公司
摘要：本申请属于靶材制备技术领域，公开了一种CoFeB平面靶材的制备方法，该方案先将钴、铁、硼按照钴、硼、铁、硼、钴、硼、铁、硼的顺序依次投入坩埚内一次熔炼、冷却，得到合金锭一再将合金锭一倒置放入坩埚内二次熔炼，得到合金锭二，最后将合金锭二倒置放入坩埚进行三次熔炼、浇铸、退火机加工，得到CoFeB平面靶材，本方案通过上述设计制得了一种组分分布均匀且杂质元素含量较少的CoFeB平面靶材，此外，本申请还公开了一种CoFeB平面靶材。
主权项：1.一种CoFeB平面靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：将钴、铁、硼按照钴、硼、铁、硼、钴、硼、铁、硼的顺序依次投入坩埚内一次熔炼、冷却，得到合金锭一；步骤2：将步骤1制得的合金锭一倒置放入坩埚内二次熔炼，得到合金锭二；步骤3：将步骤2制得的合金锭二倒置放入坩埚内进行三次熔炼、浇铸、退火机加工，得到CoFeB平面靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(江苏)有限公司 一种CoFeB平面靶材的制备方法
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