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一种真空镀膜系统 

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申请/专利权人:深圳市联生佳科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种真空镀膜系统,包括承载框架、封盖组件、密封组件和顶盖板,所述承载框架的顶部一端设置有封盖组件,且封盖组件的一端设置有顶盖板,所述顶盖板的底端设置有密封组件,所述密封组件包括套接圆盘、转动销、密封垫、连接环和螺栓,且套接圆盘的一端设置有转动销。该真空镀膜系统,套接圆盘为可活动式的两个半圆盘相拼接而成,通过转动销使其套接圆盘可进行一定角度的开合,再其套接圆盘的内部嵌入安装有密封垫,可对其承载框架中的腔体进行二次密封,采用螺栓进行密封紧固其机械结构简单,便于其真空镀膜系统的高效使用,同时因为套接圆盘与密封垫的使用,可保证防密封环损坏的时候,真空镀膜系统还可正常进行使用。

主权项:1.一种真空镀膜系统,包括承载框架1、封盖组件2、密封组件3和顶盖板4,其特征在于:所述承载框架1的顶部一端设置有封盖组件2,且封盖组件2的一端设置有顶盖板4,所述顶盖板4的底端设置有密封组件3,所述密封组件3包括套接圆盘301、转动销302、密封垫303、连接环304和螺栓305,且套接圆盘301的一端设置有转动销302,所述套接圆盘301的内部设置有密封垫303,且套接圆盘301的另一端安装有连接环304,所述连接环304的内部设置有螺栓305。

全文数据:

权利要求:

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