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申请/专利权人：中电环保股份有限公司
摘要：本实用新型公开了一种多晶硅行业的超纯水处理系统，属于多晶硅行业超纯水制备处理技术领域，包括依次相连的原水池、换热器、超滤水箱、两级反渗透系统、UV杀菌装置、一级脱气膜、EDI装置、超纯水氮封水箱、TOC‑UV系统、二级脱气膜、抛光混床和终端两级精密过滤器；所述换热器和超滤水箱之间设置有外压式超滤膜系统用于液体分离和过滤处理；采用“换热器+超滤+两级反渗透+UV杀菌+一级脱气膜+EDI+超纯水箱+TOC‑UV+二级脱气膜+抛光混床+终端两级精密过滤”处理系统，降低了工艺的繁琐性，大幅减少了化学品的使用，有利于环境保护，降低对人工的技能要求，提高全厂的自动化水平。
主权项：1.一种多晶硅行业的超纯水处理系统，其特征在于：包括依次相连的原水池、换热器（1）、超滤水箱（2）、两级反渗透系统（3）、UV杀菌装置（4）、一级脱气膜（5）、EDI装置（6）、超纯水氮封水箱（7）、TOC-UV系统（8）、二级脱气膜（9）、抛光混床（10）和终端两级精密过滤器（11）；所述换热器（1）和超滤水箱（2）之间设置有外压式超滤膜系统用于液体分离和过滤处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中电环保股份有限公司 一种多晶硅行业的超纯水处理系统
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