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一种靶材组件焊接缺陷的检测装置系统 

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申请/专利权人:宁波江丰电子材料股份有限公司

摘要:本实用新型提供了一种靶材组件焊接缺陷的检测装置系统,所述检测装置系统包括检测装置、若干靶材组件和若干靶材组件夹具;所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板;所述靶材组件竖直设置在所述靶材组件夹具的上方;所述检测装置上分别独立地设置有进液管道和出液管道;所述进液管道、所述出液管道分别独立地与所述背板连接。本实用新型通过检测装置直接与背板相连,且1个检测装置能够同时对多个待测靶材组件检测,提高了检测效率,并将靶材组件竖直设置在靶材组件夹具的上方,不仅可以节省检测空间,还可以直观观察到产品所有的面是否存在漏水现象。

主权项:1.一种靶材组件焊接缺陷的检测装置系统,其特征在于,所述检测装置系统包括检测装置、若干靶材组件和若干靶材组件夹具;所述靶材组件包括层叠设置的靶材与背板;所述靶材组件竖直设置在所述靶材组件夹具的上方;所述检测装置上分别独立地设置有进液管道和出液管道;所述进液管道、所述出液管道分别独立地与所述背板连接。

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