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申请/专利权人：中国科学院理化技术研究所
摘要：本实用新型提供一种高纯氦气制取系统，其包括液氦罐、液氦泵和汽化器，液氦罐与液氦泵的输入端之间连接有第一管道，第一管道的输入端伸入液氦罐内部且进口处设置有过滤器，过滤器用于过滤液氦中的固相氖，过滤器始终浸泡在液氦中，第一管道的输出端与液氦泵的输入端连接，液氦泵的输出端与汽化器的输入端之间连接有第二管道，经过过滤器过滤后的高纯度液氦通过液氦泵进入汽化器，液氦在汽化器中转化为常温氦气后通过汽化器的输出端排出；过滤器可以对液氦中的固体氖颗粒进行过滤处理，汽化器将过滤后的高纯氦汽化成常温氦气，从而降低高纯氦气中痕量级别的氖气含量。
主权项：1.一种高纯氦气制取系统，其特征在于，包括液氦罐、液氦泵和汽化器，液氦罐与液氦泵的输入端之间连接有第一管道，第一管道的输入端伸入液氦罐内部且进口处设置有过滤器，过滤器用于过滤液氦中的固相氖，过滤器始终浸泡在液氦中，第一管道的输出端与液氦泵的输入端连接，液氦泵的输出端与汽化器的输入端之间连接有第二管道，经过过滤器过滤后的高纯度液氦通过液氦泵进入汽化器，液氦在汽化器中转化为常温氦气后通过汽化器的输出端排出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院理化技术研究所 一种高纯氦气制取系统
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