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申请/专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
摘要：本实用新型属于晶圆检测技术领域，公开了一种晶圆检测用图像摄取装置。该晶圆检测用图像摄取装置包括支撑机构、转动机构、检测机构和调节机构。支撑机构包括底座和支撑架；转动机构包括轴承座、轴承、转轴、连接法兰和限位组件，轴承座与底座连接，轴承的外圈与轴承座连接，轴承的内圈与转轴连接，转轴远离轴承座的一端与连接法兰连接，连接法兰与承载台连接，限位组件能够限制转轴的转动角度并且能够使承载台锁定；检测机构包括相机；检测机构通过调节机构与支撑架连接，检测机构能够通过调节机构移动。在相机拍摄晶圆边缘下一个点位时，只需要转动承载台直至承载台无法转动时，承载台即转过设定好的角度，还能够锁定承载台避免承载台的回转。
主权项：1.晶圆检测用图像摄取装置，其特征在于，包括：支撑机构1，包括底座11和支撑架12；承载台2；转动机构3，所述转动机构3包括轴承座31、轴承32、转轴33、连接法兰34和限位组件35，所述轴承座31与所述底座11连接，所述轴承32的外圈与所述轴承座31连接，所述轴承32的内圈与所述转轴33连接，所述转轴33远离所述轴承座31的一端与所述连接法兰34连接，所述连接法兰34与所述承载台2连接，所述限位组件35能够限制所述转轴33的转动角度并且能够使所述承载台2锁定；摄像机构4，包括相机41；调节机构5，所述摄像机构4通过所述调节机构5与所述支撑架12连接，所述摄像机构4能够通过所述调节机构5移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波芯丰精密科技有限公司 晶圆检测用图像摄取装置
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