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申请/专利权人：山东省科学院激光研究所
摘要：本申请提供一种跨尺寸光聚合微纳加工光路，包括纳米级超精细加工、亚微米级大尺寸加工和原位实时检测光学系统，纳米级超精细加工光学系统包括：飞秒激光器、第一、第二透镜、空间光调制器、第三透镜、第一、第二分光镜和高数值孔径物镜；亚微米级大尺寸加工光学系统包括：纳秒激光器、电动快门、半波片、偏振分光镜、扩束透镜组、第三分光镜、第一、第二、第三、第四反射镜和柱面镜；原位实时检测光学系统包括：监测光源、准直透镜、第一、第二二向色镜、聚焦透镜和CCD；通过两条聚合加工光路的配合，无需大范围移动样品控制平台，即可在整套光学系统实现高分辨率及大尺寸一体化微纳结构加工，同时满足分辨率和制备效率的要求。
主权项：1.一种跨尺寸光聚合微纳加工光路，其特征在于，包括：纳米级超精细加工光学系统、亚微米级大尺寸加工光学系统和原位实时检测光学系统；其中，所述纳米级超精细加工光学系统包括：沿激光束输出方向依次设置的飞秒激光器、第一透镜、第二透镜、空间光调制器、第三透镜、第一分光镜、第二分光镜和高数值孔径物镜；所述第二分光镜和所述高数值孔径物镜均设置在待加工样品的上方；所述纳米级超精细加工光学系统被配置为对所述待加工样品进行纳米级超精细加工；所述亚微米级大尺寸加工光学系统包括：沿激光束输出方向依次设置的纳秒激光器、电动快门、半波片、偏振分光镜、扩束透镜组，第三分光镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜和柱面镜；所述柱面镜与所述第二分光镜相对，所述柱面镜被配置为将出射的激光传送至所述第二分光镜；所述亚微米级大尺寸加工光学系统被配置为对所述待加工样品进行亚微米级大尺寸加工；所述原位实时检测光学系统包括：监测光源、准直透镜、第一二向色镜、第二二向色镜、聚焦透镜和CCD；所述第二二向色镜被配置为将所述监测光源产生的监测光反射至所述第一分光镜；所述原位实时检测光学系统被配置为通过所述监测光监测所述纳米级超精细加工光学系统和所述亚微米级大尺寸加工光学系统对所述待加工样品的加工过程。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东省科学院激光研究所 一种跨尺寸光聚合微纳加工光路
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