龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司
摘要：本实用新型公开了一种碳基材料表面制备碳化钽涂层的装置，包括：炉体，炉体内限定形成反应室，反应室的侧壁沿周向安装有加热件一，反应室内可拆卸固定有反应坩埚，反应坩埚内侧壁从上到下间隔固定有多组载台支架，每组载台支架包括多个载台支架一，每组的多个载台支架一呈环形间隔布置；蒸发器，蒸发器内部限定形成蒸发室，蒸发室设有钽源，蒸发器具有加热件二，蒸发器的一端设有连通至蒸发室的氩气接口和氯气接口，其另一端通过输气管一与混气室连通；混气箱，混气箱内限定形成混气室，混气箱靠近蒸发器的一端开设有连通至混气室的丙烯接口和氢气接口，混气箱具有加热件三，混气室远离蒸发器的一端通过输气管二与反应室连通。
主权项：1.一种碳基材料表面制备碳化钽涂层的装置，其特征在于，包括：炉体，所述炉体内限定形成反应室，所述反应室的侧壁沿周向安装有加热件一，所述反应室内可拆卸固定有反应坩埚，所述反应坩埚内侧壁从上到下间隔固定有多组载台支架，每组载台支架包括多个载台支架一，每组的所述多个载台支架一呈环形间隔布置；蒸发器，所述蒸发器内部限定形成蒸发室，所述蒸发室设有钽源，所述蒸发器具有加热件二，所述蒸发器的一端设有连通至所述蒸发室的氩气接口和氯气接口，其另一端通过输气管一与混气室连通；混气箱，所述混气箱内限定形成所述混气室，所述混气箱靠近所述蒸发器的一端开设有连通至所述混气室的丙烯接口和氢气接口，所述混气箱具有加热件三以对内部的气体进行加热，所述混气室远离所述蒸发器的一端通过输气管二与所述反应室连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏集芯半导体硅材料研究院有限公司 碳基材料表面制备碳化钽涂层的装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号