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申请/专利权人：光芯互连(苏州)科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种4×4阵列的光波导开关，在二氧化硅衬底上沉积刻蚀4根长的硅波导和5根短的相变薄膜波导构成阵列光开关；硅波导由相间的直波导段和弯曲波导段组成，相变复合波导为直波导；相变薄膜波导位于相邻两根平行设置的硅波导的直波导段中间，光波导阵列呈双轴对称结构。本实用新型提供的光波导开关有4个输入端口和4个输出端口，通过调节相变复合波导的特性，可在任意端口输入或任意端口输出，具有多路输出、集成度高、切换速率高等特点。
主权项：1.一种4×4阵列的光波导开关，其特征在于：它由4根长的硅波导和5根短的相变薄膜波导构成阵列光开关；所述的硅波导包括直波导段和弯曲波导段，相变复合波导为直波导；相变薄膜波导位于相邻两根平行设置的硅波导的直波导段中间，光波导阵列呈双轴对称结构。
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权利要求：
百度查询： 光芯互连(苏州)科技有限公司 一种4×4阵列的光波导开关
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