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申请/专利权人：精工爱普生株式会社
摘要：一种光学器件、分光装置以及分光方法，光学器件能够精度良好地计测移动镜的位置，并且谋求小型化以及低耗电化；分光方法能够生成波数轴或波长轴的准确度高的光谱图案；分光装置能够生成波数轴或波长轴的准确度高的光谱图案，并且谋求小型化以及低耗电化。光学器件具备分析光学系统以及测长光学系统，分析光学系统具备：移动镜，通过反射分析光，来对分析光附加第一调制信号；气室，封入有用于吸收预定的波长的光的气体，并通过使分析光入射，来对分析光附加光吸收信号；以及第一受光元件，接受包括试样来源信号、第一调制信号以及光吸收信号的分析光，测长光学系统具备第二光源、以及使用激光来获取与移动镜的位置对应的位移信号的测长部。
主权项：1.一种光学器件，其特征在于，所述光学器件具备分析光学系统以及测长光学系统，所述分析光学系统具备：移动镜，通过反射从第一光源射出的分析光，来对所述分析光附加第一调制信号；气室，封入有用于吸收预定的波长的光的气体，并通过使所述分析光入射，来对所述分析光附加光吸收信号；以及第一受光元件，接受包括试样来源信号、所述第一调制信号、以及所述光吸收信号的所述分析光，并输出第一受光信号，所述试样来源信号是由于所述分析光与试样之间的作用而生成的，所述测长光学系统具备：第二光源，射出激光；以及测长部，使用所述激光来获取与所述移动镜的位置对应的位移信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 精工爱普生株式会社 光学器件、分光装置以及分光方法
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