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申请/专利权人：杭氧集团股份有限公司
摘要：本发明为一种粗氖氦气除氢、除氮和氮气纯化的装置及使用方法，该装置由氮气脱氧纯化系统、粗氖氦气除氢系统、除氮系统组成，氮气脱氧纯化系统、粗氖氦气除氢系统均与空气分离装置AUS连接，粗氖氦气除氢系统分别与氮气脱氧纯化系统和除氮系统耦合连接，粗氖氦气除氢系统由粗氖氦气增压机、粗氖氦气储罐、换热器A、脱氢塔、电加热器组成，相互之间通过管道连接，在管道上设置有阀门，通过阀门开启和关闭控制流向，氮气脱氧纯化系统由脱氧塔、氮气增压机、换热器B、氮气缓冲罐组成。本发明实现粗氖氦气深度除氢过程和氮气纯化过程深度耦合，提高了氖氦气和超高纯氮气产能同时降低了生产成本。
主权项：1.一种粗氖氦气除氢、除氮和氮气纯化的装置，该装置由氮气脱氧纯化系统（I）、粗氖氦气除氢系统（Ⅱ）、除氮系统（III）组成，其特征在于：所述氮气脱氧纯化系统（I）、粗氖氦气除氢系统（Ⅱ）均与空气分离装置AUS（53）连接，粗氖氦气除氢系统（Ⅱ）分别与氮气脱氧纯化系统（I）和除氮系统（III）耦合连接，所述粗氖氦气除氢系统（Ⅱ）由粗氖氦气增压机（1）、粗氖氦气储罐（3）、换热器A（18）、脱氢塔、电加热器（19）组成，相互之间通过管道连接，在管道上设置有阀门，通过阀门开启和关闭控制流向，氮气脱氧纯化系统（I）由脱氧塔、氮气增压机（50）、换热器B（59）、氮气缓冲罐（38）组成，除氮系统（III）由除氮一级膜（21）、氮二级膜（24）、粗氖氦气增压泵（23）、换热器C（28）、TSA塔组成。
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权利要求：
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