龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：东莞市三仓机械有限公司
摘要：本发明公开了一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，属于SiC同IGBT功率半导体工业模块技术领域，包括箱体，箱体内分别安装有四组氮气加热炉和四组氮气冷却炉，冷却炉与加热炉内部结构相同，加热炉安装在冷却炉前端，且每组加热炉与冷却炉分别通过所对接平行通道的气动门自动连通，冷却炉与加热炉一侧的侧壁上均安装有气动门，箱体进出料口安装自动上下料机构，升降机构上安装有自动对位输送机构。本发明克服了现有技术的不足，通过设置加热炉、冷却炉、升降机构、输送机构、发热板机构和输送插件等结构之间的相互配合可以自动来对产品进行上料、加热和冷却加工，不需要多人进行手动操作，如此，减少人工劳动力，节约时间，提高工作效率。
主权项：1.一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱，包括箱体1，其特征在于：所述箱体1内分别安装有四组加热炉2和四组冷却炉3，所述冷却炉3与加热炉2内部结构相同，所述加热炉2安装在冷却炉3前端，且两组加热炉2与冷却炉3分别通过对接通道4相连通，所述冷却炉3与加热炉2一侧的侧壁上均安装有气动门5，所述箱体1上安装有升降机构6，所述升降机构6上安装有输送机构7，且输送机构7位于对应的气动门5位置设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市三仓机械有限公司 一种半导体制程设备全自动氮气固化炉烘箱
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号