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申请/专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
摘要：本发明涉及基片加工设备技术领域，具体涉及一种基片盒存储设备，包括放置架，放置架可绕其中心轴线转动，且绕中心轴线布置有多个基片盒存储位；供气组件，其包括绕中心轴线转动连接且上下设置的进气盘和出气盘，进气盘和出气盘之间形成一个环形通气槽，进气盘和出气盘上分别设有和环形通气槽连通的进气和出气通道，出气盘与放置架相连接；支杆组件，支杆组件包括基座和位于基座上方的连接件，连接件具有与基座止转连接的杆体部和与杆体部上端连接的压紧部，压紧部抵压在进气盘上。本发明的基片盒存储设备便于机械手取放基片盒，且能通过重力将进气盘压紧在出气盘上以便为旋转的放置架上的基片盒提供具有稳定压力的气体。
主权项：1.一种基片盒存储设备，包括存储装置，其特征在于：所述存储装置包括：放置架，所述放置架可绕其中心轴线转动，且绕所述中心轴线布置有多个基片盒存储位；供气组件，其包括绕所述中心轴线转动连接且上下设置的进气盘和出气盘，所述进气盘和所述出气盘之间形成一个环形通气槽，所述进气盘和所述出气盘上分别设有和所述环形通气槽连通的进气和出气通道，所述出气盘与所述放置架相连接，所述出气通道通过出气管将气源的气体通入所述基片盒内；支杆组件，所述支杆组件包括基座和位于所述基座上方的连接件，所述连接件具有与所述基座止转连接的杆体部和与所述杆体部上端连接的压紧部，所述压紧部抵压在所述进气盘上。
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权利要求：
百度查询： 上海果纳半导体技术有限公司 一种基片盒存储设备
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