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申请/专利权人：威海联科智能装备有限公司
摘要：本申请实施例提供的一种机械手臂及芯片抓取方法，属于半导体设备领域。该机械手臂包括抓手；气流通道，所述气流通道设于所述抓手内；多个吸嘴，多个所述吸嘴阵列设置在所述抓手上，且每一所述吸嘴均与所述气流通道联通；多个阀门，多个所述阀门逐一安装在所述吸嘴与所述气流通道之间，用于控制所述气流通道的气流是否流向所述吸嘴；其中，所述吸嘴用于在对应的所述阀门处于关闭状态时抓取待拾取的LED芯片，且在部分所述阀门处于开启状态下对应的所述吸嘴向非拾取的LED芯片产生推力，以实现对LED芯片的选择性抓取。另外，在选择转移过程中，气流形成的向外推力以及吸嘴对芯片形成的吸力，可以精准转移芯片，提升良率。
主权项：1.一种机械手臂，其特征在于，包括：抓手；气流通道，所述气流通道设于所述抓手内；多个吸嘴，多个所述吸嘴阵列设置在所述抓手上，且每一所述吸嘴均与所述气流通道联通；多个阀门，多个所述阀门逐一安装在所述吸嘴与所述气流通道之间，用于控制所述气流通道的气流是否流向所述吸嘴；其中，所述吸嘴用于在对应的所述阀门处于关闭状态时抓取待拾取的LED芯片，且在部分所述阀门处于开启状态下对应的所述吸嘴向非拾取的LED芯片产生推力，以实现对LED芯片的选择性抓取。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 威海联科智能装备有限公司 一种机械手臂及芯片抓取方法
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