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申请/专利权人：株式会社力森诺科
摘要：本发明的目的是提供一种高精度的测定方法，在使用紫外分光光度计测定含卤素氟化物气体所含的氟气浓度时，减少因卤素氟化物的光分解而产生的氟气等带来的测定误差。本发明是一种氟气浓度的测定方法，对含卤素氟化物气体照射小于250nm的波长范围内的紫外光强度的最大值WX相对于波长为285nm的紫外光强度WF之比WXWF在110以下的紫外光，测定285nm波长的吸光度，从而得到含卤素氟化物气体所含的氟气浓度。
主权项：1.一种氟气浓度的测定方法，对含卤素氟化物气体照射小于250nm的波长范围内的紫外光强度的最大值WX相对于波长为285nm的紫外光强度WF之比WXWF在118以下的紫外光，测定285nm波长的吸光度，从而得到含卤素氟化物气体所含的氟气浓度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社力森诺科 由紫外光谱法测定含卤素氟化物气体所含的氟气浓度的测定方法
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