买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：江苏高光半导体材料有限公司

摘要：本发明涉及掩膜版技术领域，且公开了一种掩膜版的承载装置，包括第一L型防护板，所述第一L型防护板的内侧开设有放置槽，所述放置槽的内腔活动连接有超薄掩膜版本体。该掩膜版的承载装置，通过超薄掩膜版本体的外侧分别设有第一L型防护板和第二L型防护板，由于第一L型防护板的形状特点和第二L型防护板的形状特点，便于对超薄掩膜版本体的四侧进行防护，通过第一L型防护板和第二L型防护板之间利用第一伸缩杆、挡板和第一弹簧连接，便于将第二L型防护板的一侧卡在第一L型防护板的后侧上，使得第二L型防护板在不受外力的情况下第二L型防护板能够与第一L型防护板连接，提高了对超薄掩膜版本体四侧防护的稳定性。

主权项：1.一种掩膜版的承载装置，包括第一L型防护板（1），其特征在于：所述第一L型防护板（1）的内侧开设有放置槽（2），所述放置槽（2）的内腔活动连接有超薄掩膜版本体（3），所述第一L型防护板（1）后侧的一侧通过轴活动套接有第二L型防护板（4），所述第二L型防护板（4）一侧的前侧固定安装有手柄（5），所述放置槽（2）内腔的一侧开设有收纳槽（6），所述收纳槽（6）内腔的前侧固定安装有第一伸缩杆（7），所述第一伸缩杆（7）的后端固定安装有位于第二L型防护板（4）一侧的挡板（8），所述第一伸缩杆（7）的外侧活动套接有第一弹簧（9），所述第一弹簧（9）的两端分别固定安装在收纳槽（6）内腔的前侧和挡板（8）的前侧上；所述第一L型防护板（1）一侧的上下侧均开设有移动槽（10），所述移动槽（10）的内腔活动套接有移动板（11），所述移动板（11）的顶部固定安装有连接板（12），所述连接板（12）的底部固定安装有第二伸缩杆（13），所述第二伸缩杆（13）的底部固定安装有灰尘擦板（14），所述第二伸缩杆（13）的外侧活动套接有第二弹簧（15），所述第二弹簧（15）的两端分别固定安装在连接板（12）的底部和灰尘擦板（14）的顶部上，所述灰尘擦板（14）的长度大小与超薄掩膜版本体（3）的宽度大小相等；所述移动板（11）的前侧固定安装有前连板（16），所述前连板（16）的前侧开设有插孔（17），所述插孔（17）的内腔活动套接有插销（18）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏高光半导体材料有限公司 一种掩膜版的承载装置