首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

一种具有蓝宝石窗口的石英腔及蓝宝石的粘贴方法 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:扬州韩思半导体科技有限公司

摘要:一种具有蓝宝石窗口的石英腔及蓝宝石的粘贴方法,涉及晶圆热处理技术领域。包括石英腔本体,石英腔本体的测温部位设置有贯通石英腔本体侧壁的圆孔以及与圆孔同心设置、并且直径大于圆孔直径的蓝宝石安装槽,所述蓝宝石安装槽内配合粘接有蓝宝石窗口片。本发明采用蓝宝石测温窗口,蓝宝石测温窗口对5un波长的透过率为80%以上,同时配置测量波长在大于4.7的高温计,优选的采用测量波长在5um以上的高温计,从而有效避开卤素灯发出波长的干扰,可以准确测量晶圆的温度。

主权项:1.一种石英腔上蓝宝石的粘贴方法,其特征在于,石英腔包括石英腔本体,石英腔本体的测温部位设置有贯通石英腔本体侧壁的圆孔以及与圆孔同心设置、并且直径大于圆孔直径的蓝宝石安装槽,所述蓝宝石安装槽内配合粘接有蓝宝石窗口片;石英腔上蓝宝石的粘贴方法包括如下步骤:S1、清除石英腔本体表面污垢,在石英腔测温窗口部位的外壁上粘贴耐高温贴,耐高温贴呈环形、并与蓝宝石安装槽同心设置,耐高温贴内周壁与蓝宝石安装槽的外周壁平齐;S2、在蓝宝石窗口片面向蓝宝石安装槽一侧的粘接部位涂覆氧化铝粘合剂,氧化铝粘合剂的涂覆位置避开石英腔本体测温部位的圆孔,将蓝宝石窗口片涂覆氧化铝粘合剂的一侧粘连在PVC薄膜上,静置12小时以上;S3、将粘连有氧化铝粘合剂的蓝宝石窗口片从PVC薄膜上剥离、并置于烘箱中低温烘烤数小时;S4、在蓝宝石窗口片涂覆氧化铝粘合剂的部位再涂覆一层二氧化硅粘合剂,二氧化硅粘合剂的涂覆位置避开石英腔本体测温部位的圆孔,再通过二氧化硅粘合剂将蓝宝石窗口片粘连在蓝宝石安装槽中;S5、室温静置12小时以上,之后低温烘烤数小时完成蓝宝石窗口片的粘贴,最后撕掉耐高温贴。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 扬州韩思半导体科技有限公司 一种具有蓝宝石窗口的石英腔及蓝宝石的粘贴方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。