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申请/专利权人：中国科学院力学研究所
摘要：本发明提供了一种抗铝液粘附涂层及其制备方法，该制备方法包括：对压铸模具钢基材进行预处理，以及对镀膜设备的真空室气路进行清洗；采用直流磁控溅射清洗AlCr靶和Cr靶，通过等离子体发射光谱反馈系统获取AlCr靶的靶面等离子体的发射光谱，选取Al原子谱线390～400nm处作为监测谱线，并设定所述Al原子谱线390～400nm处相对强度；先进行压铸模具钢基材辉光清洗，然后采用直流磁控溅射对Cr靶进行溅射，制备Cr结合层与CrN过渡层；接着基于等离子体的发射光谱，采用HiPIMS技术对所述AlCr靶进行溅射，同时通过反馈控制向真空室动态的通入氮气，沉积得到AlCrN功能层。本发明可以实现HiPIMS快速稳定制备高性能AlCrN功能涂层，涂层表面质量好，具有较高硬度和抗铝黏着性能，适用于一体化压铸模具极端服役环境的特点。
主权项：1.一种抗铝液粘附涂层制备方法，其特征在于，主要包括以下步骤：1预处理对压铸模具钢基材进行预处理，并对镀膜设备的真空室及气路进行清洗；2等离子参数标定采用直流磁控溅射清洗AlCr靶和Cr靶，通过等离子体发射光谱反馈系统获取AlCr靶的靶面等离子体的发射光谱，选取Al原子谱线390～400nm处作为监测谱线，并设定所述Al原子谱线390～400nm处相对强度；3复合涂层制备先进行压铸模具钢基材辉光清洗，然后采用直流磁控溅射对Cr靶进行溅射，制备Cr结合层与CrN过渡层；接着基于等离子体的发射光谱，采用HiPIMS技术对所述AlCr靶进行溅射，同时通过反馈控制向真空室动态的通入氮气，沉积得到AlCrN功能层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院力学研究所 一种抗铝液粘附涂层及其制备方法
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