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申请/专利权人：华东师范大学
摘要：本发明公开了一种红外变温PL光谱鉴定窄带隙半导体材料相纯度的装置及方法，装置包括脉冲泵浦激光器、离轴反射镜、冷头、样品架、温控仪、压缩制冷机、真空泵、锁相放大器、傅里叶红外光谱仪及计算机，所述脉冲泵浦激光器在产生高能量脉冲输出状态和泵浦暂停状态之间周期性切换，所述切换的频率信号就是馈入锁相放大器的参考信号。其方法基于所述装置实现，包括：测量所述材料在不同温度下的PL光谱；提取各温度下PL光谱的发光峰值能量并绘制峰值能量随温度变化的关系曲线；根据峰值能量随温度变化的关系曲线鉴定被测材料的相纯度。本发明直接使用脉冲泵浦激光器的频率作为锁相放大器的参考信号，可以在更短的扫描时间内实现相同的信噪比。
主权项：1.一种红外变温PL光谱鉴定窄带隙半导体材料相纯度的装置，包括脉冲泵浦激光器、第一、第二离轴反射镜、冷头、样品架、温控仪、压缩制冷机、真空泵、锁相放大器、傅里叶红外光谱仪及控制所述傅里叶红外光谱仪的计算机，其特征在于，所述傅里叶红外光谱仪连接计算机，傅里叶红外光谱仪内包括迈克尔逊干涉仪和探测器，探测器的信号输出端与锁相放大器的信号输入端通过电路连接；温控仪、压缩制冷机和真空泵分别连接冷头，冷头内设有样品架，脉冲泵浦激光器通过电路连接锁相放大器的参考信号输入端；第一离轴反射镜设置于脉冲泵浦激光器和冷头之间，第二离轴反射镜设置于傅里叶红外光谱仪进光口正前方且位于第一离轴反射镜的正下方；脉冲泵浦激光器发出的激光通过第一离轴反射镜的中心孔并照射至样品架的样品上，样品发出的调制光致发光信号依次经第一离轴反射镜和第二离轴反射镜反射后进入傅里叶红外光谱仪的进光口，经迈克尔逊干涉仪干涉后的光信号进入探测器；脉冲泵浦激光器发出的频率信号作为锁相放大器的参考信号馈入其参考信号输入端，锁相放大器对所述调制光致发光信号进行预处理，提取出来自样品的光信号并重新反馈给探测器，最后在计算机上显示光致发光频谱图。
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权利要求：
百度查询： 华东师范大学 红外变温PL光谱鉴定窄带隙半导体材料相纯度的装置及方法
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