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申请/专利权人：株式会社东京精密
摘要：一种形状测定装置，用于一边对板状的被测定物1的表面进行扫描一边获取多个表面图像而对被测定物1的形状进行测定，其中，形状测定装置具有：拍摄系统10，该拍摄系统对被测定物1照射平行光而获取表面图像；工作台系统30，该工作台系统对被测定物1进行保持，并对被测定物1相对于拍摄系统10的姿态进行调整；以及控制装置20，控制装置20具有：姿态调整部21，该姿态调整部对拍摄系统10以及工作台系统30进行控制，一边调整姿态一边扫描表面而获取多个表面图像；以及图像处理部22，该图像处理部根据获取到的多个表面图像，进行被测定物1的三维形状的复原模型的生成，姿态调整部21在获取表面图像时，对姿态进行调整，以使平行光相对于表面的入射角在预先规定的范围内，根据该形状测定装置，即使是板状的被测定物、尤其是作为复杂形状的晶片的凹口部，也能够以更高的精度进行形状测定。
主权项：1.一种形状测定装置，该形状测定装置用于一边对板状的被测定物的表面进行扫描一边获取多个表面图像而对所述被测定物的形状进行测定，其中，所述形状测定装置具有：拍摄系统，该拍摄系统对所述被测定物照射平行光而获取所述表面图像；工作台系统，该工作台系统对所述被测定物进行保持，并对所述被测定物相对于所述拍摄系统的姿态进行调整；以及控制装置，所述控制装置具有：姿态调整部，该姿态调整部对所述拍摄系统以及所述工作台系统进行控制，一边调整所述姿态一边扫描所述表面而获取多个所述表面图像；以及图像处理部，该图像处理部根据获取到的多个所述表面图像，进行所述被测定物的三维形状的复原模型的生成，所述姿态调整部在获取所述表面图像时，对所述姿态进行调整，以使所述平行光相对于所述表面的入射角在预先规定的范围内。
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